典型應(yīng)用領(lǐng)域

?3D感知

激光3D感知技術(shù)的基本原理是利用陣列激光脈沖從探測(cè)場(chǎng)景中收集被測(cè)目標(biāo)反射的脈沖信號(hào)，通過(guò)信號(hào)時(shí)間差或相位差計(jì)算被測(cè)目標(biāo)的深度信息，從而得到3D空間的目標(biāo)模型。在激光3D感知技術(shù)中，基于微光學(xué)的激光線(xiàn)陣或點(diǎn)陣光源模組是核心組件之一，為了達(dá)到高精度的3D感知，需要足夠密集和能量均勻分布的陣列，傳統(tǒng)的幾何光學(xué)在光學(xué)效果、體積、成本等方面都已經(jīng)無(wú)法達(dá)到此要求，只有通過(guò)微光學(xué)進(jìn)行微納尺度上的光學(xué)整形，才能實(shí)現(xiàn)芯片級(jí)的光學(xué)模組集成。目前，LIMO的微光學(xué)器件在人臉識(shí)別、安防（機(jī)場(chǎng)監(jiān)控）等領(lǐng)域都已開(kāi)始得到應(yīng)用。

?用于材料加工處理的半導(dǎo)體泵浦固體/光纖激光器

在材料加工領(lǐng)域，大功率的光纖激光器和固體激光器的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。利用具有最高光電轉(zhuǎn)化效率的半導(dǎo)體激光器，結(jié)合FAC（快軸準(zhǔn)直）、SAC（慢軸準(zhǔn)直）及BTS（光斑轉(zhuǎn)換）等微光學(xué)技術(shù)和器件，是生產(chǎn)大功率光纖激光器和半導(dǎo)體泵浦固體激光器的重要組成部分。利用LIMO的300mm*300mm第五代微光學(xué)晶圓加工工藝，可為客戶(hù)提供低成本、高性能、耦合效率高的微光學(xué)元器件。

?用于半導(dǎo)體芯片制造的浸入式泛半導(dǎo)體制程技術(shù)

隨著浸入式泛半導(dǎo)體制程技術(shù)的應(yīng)用，半導(dǎo)體器件晶體管密度不斷增加，所以今天我們可以看到以一個(gè)毫米級(jí)的硅片承載著1TB的信息，或者整臺(tái)電腦被集成在一個(gè)芯片上。微光學(xué)為泛半導(dǎo)體制程提供光束形態(tài)轉(zhuǎn)換元器件、光場(chǎng)勻化器件、光參數(shù)積轉(zhuǎn)換器。用于泛半導(dǎo)體制程的準(zhǔn)分子激光勻化在硅片上，使得泛半導(dǎo)體制程實(shí)現(xiàn)高精度和高分辨率。

?以激光剝離技術(shù)實(shí)現(xiàn)柔性顯示的規(guī)模應(yīng)用

使用紫外線(xiàn)激光的激光剝離技術(shù)實(shí)現(xiàn)了柔性顯示膜層和剝離基板的無(wú)接觸光學(xué)剝離，這對(duì)于常規(guī)機(jī)械分離來(lái)說(shuō)是不可能的。在柔性顯示OLED的制程中，基于微光學(xué)光束形態(tài)轉(zhuǎn)換元器件、光場(chǎng)勻化器件將深紫外激光整形成一條20-30微米寬，750毫米甚至更長(zhǎng)的高能量密度的線(xiàn)光斑，通過(guò)掃描實(shí)現(xiàn)柔性顯示膜層從玻璃基板無(wú)接觸剝離。LIMO的UV L-750光學(xué)系統(tǒng)已廣泛應(yīng)用在行業(yè)中，并憑借優(yōu)異的設(shè)計(jì)和性能獲得2018年P(guān)RISM AWARD。

?激光雷達(dá)（LiDAR）

基于微光學(xué)技術(shù)和整形激光器的光學(xué)感知器件小巧可靠，能精確測(cè)量您的車(chē)輛在交通中的位置，把您安全輕松地帶到目的地。

盡管LiDAR的方案實(shí)現(xiàn)不同，但激光雷達(dá)發(fā)射器組件大部分都包含了準(zhǔn)直、耦合、擴(kuò)束及勻化功能中的一種或幾種。需要用到的微光學(xué)器件有：激光器準(zhǔn)直元器件、耦合元器件、光束形態(tài)轉(zhuǎn)換元器件、光場(chǎng)勻化擴(kuò)束器。

炬光科技全資子公司LIMO提供的微光學(xué)器件，可使激光光源形成及輸出大視場(chǎng)、遠(yuǎn)探測(cè)距、高分辨率（高準(zhǔn)直度掃描）、高均勻度、無(wú)零級(jí)衍射（亮曝點(diǎn)）人眼安全的激光雷達(dá)光束，解決現(xiàn)有激光雷達(dá)技術(shù)的小視場(chǎng)（造成多雷達(dá)安裝擴(kuò)大視場(chǎng)的成本上升）、探測(cè)距短、分辨率不高（準(zhǔn)直度低）、均勻度低、有零級(jí)衍射（亮曝點(diǎn)）人眼不安全的問(wèn)題。

LIMO高精度玻璃光學(xué)器件的優(yōu)勢(shì)